杭州光研科技有限公司

企业简介

杭州光研科技有限公司成立于2022年7月，专注于半导体晶圆光学检测设备的研发、生产与销售，位于杭州市集成电路产业园。公司形成GWM/GWE硅片复合检测机、GWP硅片内部针孔缺陷检测机、GWL晶圆魔镜、GWEP晶圆轮廓仪、GWS硅片外延外观检测机五大产品系列，覆盖12英寸硅片生产多个检测环节并支持定制化。公司在中国及日本设有研发制造中心。企业材料称已申请知识产权55项、授权35项，其中发明专利5项；具备国家高新技术企业、浙江省专精特新中小企业等资质，并牵头制定硅晶圆无损外观光学缺陷检测设备相关标准。